基于光腔衰荡技术的曲面反射光学元件高反射率均匀性检测

光电工程页数： 12 2025-07-25

摘要：描述一种基于光反馈光腔衰荡技术的测量曲面高反射光学元件反射率空间分布的检测方法，检测装置由高稳定性折叠测试光腔和5维自由度运动控制系统组成。通过数学建模建立有准确数学描述的曲面面型上的点位置与5维运动调节量的普适性数学关系，实现了对不同曲率、不同口径、不同面型光学元件的5维动态补偿。系统采用高精度自动化扫描策略，在二维自动扫描过程中通过控制程序调整剩余维度实现深度方向和两轴角度... （共12页）

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