倾斜校正中基于重复控制的高频扰动抑制方法

光电工程页数： 14 2025-04-25

摘要：扰动抑制尤其是超过闭环带宽外的高频扰动抑制是实现倾斜校正系统高精度稳定控制的核心。重复控制具有周期性的轨迹跟踪和扰动抑制的良好性能，应用于高精度系统的稳定控制。对倾斜校正系统的高频扰动抑制问题进行分析，并研究基于重复控制的高频扰动抑制性能。针对传统重复控制器存在的固有频率漂移和水床放大问题，研究设计一种基于Youla参数化的梳状重复控制器来抑制超过闭环带宽外的高频扰动。针对重复... （共14页）

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