MEMS环形谐振陀螺驱动模态控制方法研究

电子测量技术页数： 7 2025-05-12

摘要：为了有效控制微机电环形谐振陀螺驱动模态的工作状态，提高驱动幅值的稳定性能与谐振频率的实时跟踪性能，本文提出了一种基于相位控制与自动增益控制的驱动模态闭环控制方案。首先，基于环形谐振陀螺的动力学特性与机电接口特点，设计了对称静电驱动-差动电容敏感的机电接口，提出了基于相位控制与自动增益控制的闭环驱动控制方案；其次，构建了闭环驱动控制方案的机电耦合仿真模型，对驱动模态的自激振荡控制... （共7页）

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