高加速寿命试验在裂解源装置可靠性测试中的应用

真空科学与技术学报页数： 6 2025-03-26

摘要：裂解源是超高真空分子束外延（MBE）设备的核心部件，可用于生长诸如GaAs、InP、GaSb等多种III-V族化合物半导体外延材料。由于MBE使用过程中超高真空不易获取的特点，对裂解源的可靠性有很高的要求。文章探讨了分子束外延设备用砷裂解源装置高应力加速试验的原理和方法，针对裂解源的特点设计了加速老化试验方案。根据高温度应力加速模型，确定了裂解源的温度组合加速因子，设计出相应的... （共6页）

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