基于传递矩阵法的柔性微定位平台动态特性研究

北京航空航天大学学报页数： 12 2022-12-15

摘要：随着精密微定位技术的发展，对柔性微定位平台的动态特性研究越发重要。传递矩阵法(TMM)作为分析多体系统动力学的一种有效方法，具有建模方便、计算精度高等优势。为此，基于传递矩阵法建立微定位平台的动力学模型，以分析其动态特性。介绍传递矩阵法的基本思想并建立柔性机构的传递方程，推导了其在任意激励下的瞬时动力响应；基于柔性铰链和柔性梁设计了一种XY柔性微定位平台并推导出其支链及平台整体... （共12页）

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