一维亚波长红外偏振光栅全息光刻加工

摘要： 亚波长光栅作为一种体积小，易于集成，消光比高的偏振选择器件，在遥感探测、材料应力探测和抗散射成像等领域有着丰富的应用前景。本文设计了高消光比，高透过率的一维亚波长光栅偏振选择器件，并实现其高效的加工方式。首先，基于等效介质理论和有限时域差分对光栅进行设计和仿真，设计了一种对全息干涉加工友好的双层金属结构的一维亚波长光栅偏振器件，具有占空比稳定及易于图形转移的优势。之后搭建了全息... （共10页）