晶面取向对TiN涂层导电性能的影响研究

摘要： 目的 TiN涂层的晶面择优生长取向对其性能有显著影响，当前TiN涂层晶面取向对其导电性能的影响机理尚未明确。因此，将模拟计算与实验研究相结合，开展晶面取向对涂层导电性能影响的研究。方法 采用第一性原理计算研究了晶面取向对TiN表面能、能带结构、态密度、电荷布居及自由电子相对浓度的影响。同时，利用HiPIMS技术实现了不同晶面取向TiN涂层的制备。结果 经过理论计算，TiN(20... （共9页）