扫描电镜二次电子探测器闪烁体导电层厚度对成像的影响

摘要： 扫描电镜原位高温成像技术是完成更高温度材料分析测试需求而发展的先进科学研究手段。为了进一步提高扫描电镜原位高温成像的图像质量，本文基于自主研发的扫描电子显微镜原位高温成像设备，研究了闪烁体前端导电层即铝膜的厚度对成像质量的影响。通过制备不同厚度的铝膜，以相同的放大倍率和工作距离在样品的同一区域实时观察闪烁体的铝膜对可见光的遮挡作用及成像效果。实验结果表明，镀有120 nm铝膜厚... （共8页）