化学气相沉积合成纯单层石墨烯的技术综述

固体电子学研究与进展页数： 8 2024-12-25

摘要：石墨烯的各种优异性能使其在半导体领域中具有广阔的应用前景，同时其单原子层的特殊结构使得石墨烯的层数对其各种特性有着显著的影响。因此，高质量和层数可控的石墨烯薄膜的规模化稳定制备是实现其在微电子、光学和传感器等领域中各种关键器件应用的基础。目前，在众多的石墨烯制备方法中，大尺寸、高质量石墨烯薄膜制备的最主要手段是化学气相沉积法。本文综述了近年来利用化学气相沉积法合成纯单层石墨烯连... （共8页）

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