多晶金刚石散热片制备工艺研究

摘要： 通过微波等离子体化学气相沉积（Microwave plasma chemical vapor deposition, MPCVD）方法制备了不同工艺条件下的多晶金刚石散热片，并对其热导率、翘曲、表面形貌、晶体取向和拉曼光谱进行测试和分析。结果表明，甲烷浓度和生长温度对金刚石生长速率和品质都有较大影响，适当降低甲烷浓度并提高生长温度有助于制备低翘曲、高热导率的高品质多晶金刚石散热... （共5页）