基于改进Faster RCNN的芯片表面缺陷检测方法研究

激光杂志页数： 7 2024-05-07

摘要：由于传统的机器视觉算法中存在对集成电路芯片表面的小特征缺陷目标检测不明显，检测速度较慢，误检率较多。基于上述问题从精度和效率两方面考虑，提出了一种改进Faster RCNN即以VanillaNet-11极简网络模型作为骨干架构，避免了传统算法ResNet-50带来深且复杂的链接和注意力机制问题，同时进一步提升了精度。用ROI Align代替原来的ROI Pooling层量化不匹... （共7页）

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