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可实现大质量数检测的四极杆质谱计的关键参数设计及仿真研究

真空科学与技术学报 页数: 8 2024-09-03
摘要: 随着中国科技的进步、技术的发展,特殊工程密闭环境内的气体成分需要精确检测,被检测对象除了小质量数(200 amu以内)气体成分之外,还包含重要的有机大质量数成分;气体成分最有效的检测仪器之一就是四极质谱计,中国质谱计研发单位大多数都集中在小质量数产品的设计生产,可测大质量数(可达1000 amu)的四极质谱计设计报道很少;文章设计了四极质谱计杆长、场半径、入口孔径、装配精度等机... (共8页)

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