基于WOA-SVM的混合式晶圆允收测试关键特征参数选择方法

制造业自动化页数： 7 2024-12-25

摘要：晶圆允收测试（Wafer Acceptance Test,WAT）是晶圆制造的核心工艺过程，对该过程中的关键测试参数进行识别有助于提升晶圆良率预测准确性，从而改善企业生产效率、控制生产成本。针对WAT参数维度高、影响晶圆良率的关键特征参数不明显、参数之间存在复杂关联关系等特点，提出一种过滤式结合封装式的混合式特征选择方法。首先，构建基于皮尔逊相关系数法（PCCs）的过滤式特征选... （共7页）

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