基于磁控溅射的Pt/PtRh高温薄膜热电偶传感器集成工艺

材料工程页数： 7 2024-04-25

摘要： Pt/PtRh为高温薄膜热电偶敏感材料，Al₂O₃和SiO₂为复合绝缘层材料，采用磁控溅射法成功制备Pt/PtRh薄膜热电偶及Al₂O₃/SiO₂复合型上下绝缘层，并通过掩膜-沉积法实现薄膜热电偶图案化制备。结果表明：制备的复合绝缘层Al₂O₃/SiO₂能够有效保证高温薄膜热电偶传感器在1200℃高温下的绝缘性和化学稳定性。Pt/PtRh热电偶阵列精度达到20... （共7页）

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