金属筛网在镓基液态金属校准激光干涉仪中引入的误差分析

摘要： 以液态金属平面作为基准标定立式激光干涉仪时，由于液态金属的高反射率会导致光强无法匹配，难以得到对比度良好的干涉图。为解决这一问题，采取利用金属筛网的衰减光强方法。该方法利用金属筛网的衍射效应来衰减光强，使得光强匹配，并进一步分析金属筛网目数的选择以及如何抑制引入的误差。推导了零级衍射效率与筛网目数的关系，并在Zygo GPI4英寸干涉仪中进行实验验证，结果表明：筛网目数选择区间... （共7页）