高精度Ω型辐射结构的微纳加工

合肥工业大学学报(自然科学版) 页数： 6 2024-12-28

摘要：微波辐射结构的均匀性以及精度是影响金刚石固态自旋量子态调控实验灵敏度的直接因素，因此利用微纳工艺制备出高精度、均匀性良好的微波辐射结构显得尤为重要。文章提出一种新的微纳加工流程，基于CST MWS软件Ω槽线模型仿真，通过光学曝光和磁控溅射微纳工艺方法完成具有高精度图形尺寸和致密均匀金属层辐射结构的实物制备。该辐射结构在量子调控Rabi振荡实验得到验证。实验中在输入约为1 W电流... （共6页）

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