碳纤维保温毡激光石墨化工艺研究

中国激光页数： 9 2024-12-25

摘要：为避免保温材料中的杂质元素污染单晶硅生长过程，通常使用高温石墨化处理后的碳纤维保温毡作为单晶硅生长炉的保温材料。常用的焦耳效应电阻炉石墨化工艺主要存在设备启动时间长、能耗高等缺点。使用整形后的平顶激光束快速加热碳纤维保温毡，分析了碳纤维保温毡的传热模型，提出了碳纤维保温毡含碳量和石墨化程度径向均匀性的表征方式，探究了激光功率密度和辐照时长对碳纤维保温毡不同纵深层石墨化程度和含碳... （共9页）

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