功能层负偏压对AlCrN/TiSiN多层涂层力学性能的影响

工具技术页数： 5 2024-09-14

摘要：通过电弧离子镀和高功率脉冲磁控溅射复合技术制备了功能层负偏压为40V,80V,120V和150V的多层AlCrN/TiSiN复合纳米涂层，通过SEM观察表面液滴，测量涂层硬度、结合力和应力，并进行切削测试，以此探究功能层负偏压变化对涂层性能的影响。测量结果表明，随着功能层负偏压的升高，涂层的液滴数量先减少后增加，硬度和结合力先升高后降低，硬度和结合力在120V时达到最大，分别为... （共5页）

开通会员，享受整站包年服务

说明：本文档由创作者上传发布，版权归属创作者。若内容存在侵权，请点击申诉举报

科技文档

数学力学化学金融证券保险投资会计审计园艺林业旅游体育物理学生物学天文学气象学海洋学地质学新能源金属学农艺学农作物管理学领导学自然科学系统科学资源科学无机化工有机化工燃料化工化学工业材料科学矿业工程冶金工业安全科学环境科学工业通用机械工业无线电子电信技术铁路运输汽车工业船舶工业动力工程电力工业农业科学农业工程植物保护动物医学教育理论学前教育初等教育中等教育高等教育职业教育成人教育自然地理地球物理经济统计农业经济工业经济交通经济企业经济文化经济信息经济贸易经济财政税收市场研究科学研究互联网自动化轻工业核科学服务业石油然气服务业野生动物水产渔业硬件仪器仪表航空航天武器军事公路运输水利水电建筑科学软件