FeGa膜/AT切石英晶片双面复合蝶形谐振磁场传感器

仪器仪表学报页数： 9 2024-03-15

摘要：蝶形磁致伸缩膜由于磁汇聚，其中心区域的磁致伸缩应变增强，但是和矩形AT切石英晶片复合时，磁膜耦合至矩形晶片电极区的应变会向周围无磁膜区域扩散，降低应变对晶片厚度剪切振动的作用，降低磁场传感器灵敏度。提出AT切石英晶片和FeGa膜形状一样的蝶形谐振磁场传感器，蝶形晶片可以将蝶形磁膜增强的晶片应变汇聚至晶片电极区，以提高传感器灵敏度。仿真结果预测，在23.8～118.9 Oe的磁场... （共9页）

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