主题：固态太赫兹器件及应用

固体电子学研究与进展页数： 1 2024-04-25

摘要： <正>太赫兹技术被称为“改变世界的十大科技之一”，近年来在雷达、通信、探测、天文、医学生物等多个领域展现出了极高的科学研究和应用价值，逐渐成为学术界和产业界的研究热点。随着半导体制造工艺的不断发展，固态半导体器件在太赫兹“信号产生”与“信号接收”中发挥着重要作用。硅基半导体(如CMOS、SiGe等)器件具有低成本、小型化及高集成度特点，而化合物半导体(如GaAs、InP、GaN... （共1页）

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