库仑型静电卡盘吸附力受电极结构及晶圆氧化层影响的研究

摘要： 静电卡盘是半导体领域中关键器件，主要起到支撑固定晶圆的作用。文章利用麦克斯韦仿真软件计算了静电卡盘工作时，电极周围电压分布，得到了电极边缘效应小于4%，电极边缘效应对吸附力的影响可以忽略不计的结论；并依据等效电容的方法建立了计算库仑型静电卡盘吸附力的仿真模型。研究搭建了真空腔室，并依据气体背吹法，测试了两款具有不同电极结构的静电卡盘的吸附力，以及静电卡盘对不同材料晶圆的吸附力。...