ECR-MPCVD单晶金刚石外延生长研究

真空科学与技术学报页数： 7 2023-08-31

摘要：借助高速光纤光谱仪对ECR微波等离子体进行实时诊断，研究了等离子体空间分布以及工作气压和甲烷浓度对等离子体发射光谱的影响，并在ECR-MPCVD设备上研究了单晶金刚石同质外延生长工艺。在CH₄/H₂体系下，ECR微波等离子体与运行于中高气压下等离子体中所含基团种类基本相同。且等离子体各基团谱峰相对强度沿磁场强度梯度下降的方向减弱，在磁场共振区(875 Gs)最强，将基片台置...

科技文档

数学力学化学金融证券保险投资会计审计园艺林业旅游体育物理学生物学天文学气象学海洋学地质学新能源金属学农艺学农作物管理学领导学自然科学系统科学资源科学无机化工有机化工燃料化工化学工业材料科学矿业工程冶金工业安全科学环境科学工业通用机械工业无线电子电信技术铁路运输汽车工业船舶工业动力工程电力工业农业科学农业工程植物保护动物医学教育理论学前教育初等教育中等教育高等教育职业教育成人教育自然地理地球物理经济统计农业经济工业经济交通经济企业经济文化经济信息经济贸易经济财政税收市场研究科学研究互联网自动化轻工业核科学服务业石油然气服务业野生动物水产渔业硬件仪器仪表航空航天武器军事公路运输水利水电建筑科学软件