电化学放电加工中气膜厚度及其影响研究

摘要： 玻璃作为一种非导电硬脆材料，在光学、生物医学、微机电系统等领域应用广泛。电化学放电加工作为针对绝缘硬脆材料的有效微细加工技术，可以在玻璃上进行有效的微结构加工。在电化学放电加工中，放电现象通过击穿气膜产生，气膜作为加工过程中最重要的介质，其质量是形成良好的表面微结构的重要因素。文章研究的重点是气膜特性及其对放电能量分布的影响。研究采用三因子三水平的全因子试验方法，以电源、占空比...