基于组合测量方式的新型磁场式时栅位移传感器

摘要： 针对数字化精密机械加工装备和测量仪器中的关键功能部件——位移传感器测量精度过分依赖高精度加工的难题，提出基于组合测量方式的新型位移传感新方法。利用在平面上均匀分布的激励绕组产生交变磁场，构建运动参考系，建立位移和时间基准之间的映射关系。通过控制感应绕组的形状实现磁场精确约束，从原理上抑制谐波误差。采用差分排布的感应绕组式及组合测量方式增强抗干扰性，提高位移测量精度。通过电磁仿真...