压电执行器输出位移的精密自感知

摘要： 为省掉外部精密位移传感器，进而减小微装配与微操作系统的体积，降低系统成本，采用自感知方法来获取压电执行器的输出位移。首先，基于压电执行器在电压作用下发生变形的同时，还会发生电极化而在其晶片表面产生电荷这一思想，提出了一种非平衡电流积分式压电执行器的位移自感知方法。其次，考虑到压电执行器的漏电流与介电吸收电流，以及运算放大器的偏置电流对自感知精度的影响，给出了能够精确反映压电执行...