TFT-LCD用黑色光刻胶材料对曝光过程Mark读取的影响

摘要： 大尺寸薄膜晶体管液晶显示器（Thin Film Transistor Liquid Crystal Display, TFT-LCD）显示器为节省黑色矩阵（Black Matrix, BM）制程降低面板成本，使用黑色膜柱（Black Photo Spacer, BPS）技术替代BM和PS(Photo Spacer)制程，同时为兼顾对组精度提升的需求，采用BOA(BPS on A...