双面抛光机床抛光盘静动态特性分析

机械设计页数： 5 2023-11-20

摘要：为解决传统抛光方法上下表面平行度无法保证和形成工件规律性同轴圆环痕迹的难题，文中设计了工件旋转和二维运动独立控制的大口径光学元件双面快速抛光机床。采用ABAQUS有限元软件对其关键结构件抛光盘组件的静动态特性进行了仿真分析。结果表明：加载后抛光盘最大等效应力为12.63 MPa,最大形变量为8.26μm,能够满足工作精度和工作强度的要求；通过模态仿真计算出抛光盘组件的固有频率高... （共5页）

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