电感型光学超导转变边沿探测器件光学谐振腔设计

计量学报页数： 4 2023-08-01

摘要：为提高电感型光学超导转变边沿探测器件的探测效率，针对波长633 nm的光子，厚度15 nm的铌(Nb)膜光子吸收层，设计了一种基于Al全反射层、SiO₂和SiN_x减反层的谐振腔结构。通过仿真，选取低反射率参数分布区间，利用终点探测曲线作为谐振腔性能的判断依据，通过磁控溅射工艺和化学气相沉积工艺制备了谐振腔，并使用分光光度计测试了反射率，结果表明：制备的谐振腔可将633 nm...

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