集成电路用NTC热敏电阻温度计校准方法研究

计量学报页数： 6 2023-06-09

摘要：针对集成电路在21～23℃范围内近mK量级测温精度的需求，研究了负温度系数(negtive temperature coefficient, NTC)热敏电阻温度计的校准方法对集成电路测温系统精度的影响。利用比较法对24支3种不同型号的NTC热敏电阻温度计进行校准，使用最小二乘法进行基本方程、Hoge-1方程、Steinhart-Hart方程的系数计算，分析校准方程的内插残差，...

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