微机械谐振器温度特性分析及频率漂移补偿

中国惯性技术学报页数： 8 2023-03-29

摘要：针对微机械谐振器工作温度的变化导致谐振频率漂移问题，提出了基于RBF神经网络的频率漂移补偿方法。首先理论分析了微机械谐振器的温度特性：在10～90℃范围内，计算得到杨氏模量随温度变化而导致的频率漂移为-1.325Hz/℃，有限元仿真漂移为-1.353Hz/℃。其次，以绝对温度、温度变化量、测试频率作为RBF神经网络的输入，恒温箱测试频率为目标值，利用某空间实验仓的样本训练构建了...
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