F-P标准具用于量块量值的传递与溯源

摘要： 文章介绍具有F-P标准具的白光干涉仪检定量块的光学原理及其结构，以及检定F-P标准具的等倾干涉的原理。进一步对具有F-P标准具的白光干涉仪检定量块的测量不确定度进行分析，充分证明具有F-P标准具的白光干涉仪满足检定1等量块的要求。通过该文的介绍，印证该技术可以实现量块自动化检定，特别适用于量块生产厂00级、K级、0级量块的检定。文章还给出具有F-P标准具的白光干涉仪检定量块具有...
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科技文献白光干涉仪;F-P标准具;零次干涉带;等倾干涉环