电子光学系统自优化设计的研究

摘要： 电子光学软件Egun是用于计算二维静电场和静磁场状态下电子轨迹的专业软件。它在设计Pierce电子枪等电子光学系统方面比较成功，而且计算速度快，至今仍被广泛应用。Egun在真空电子器件的模拟仿真中，对设计的电子光学系统电子注层流特性的评估，仅能通过对电子轨迹的观察来判断其层流性的好坏，该软件并没有给出定量的评估指标参数，且对设计参数的修改十分繁琐，缺乏自动优化功能，极大地影响了...
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科技文献电子光学系统;层流特性;评估指标;自优化设计