基于扫描电子显微镜的二次电子发射系数测量

摘要： 二次电子发射特性对许多领域的真空器件有着重要的影响，准确测量二次电子发射系数至关重要。本文介绍了一种基于扫描电子显微镜的二次电子发射系数的测量方法。利用扫描电子显微镜电子束流的高稳定性和电子能量的宽范围可调的特性，引入法拉第杯样品台，通过改变电子束扫描速度，放大倍数及聚焦状态等电镜参数，对平滑Ag的二次电子发射系数进行测量。结果显示，平滑Ag的二次电子发射系数不受电镜参数影响，...
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科技文献二次电子发射;二次电子发射系数测量;扫描电子显微镜;真空系统;宽电子能量范围