光斑起始平面对飞秒激光加工SiC/SiC斜孔的影响

摘要： 为了探究光斑起始平面对飞秒激光加工SiC/SiC复合材料斜孔的影响，采用环切法对厚度为4 mm的SiC/SiC厚板进行?1.5 mm斜孔加工试验，重点分析光斑起始平面对斜孔入口形貌、入口直径及锥度的影响。结果表明，光斑起始平面处于入口上沿导致加工深度增大，光束对孔内扫描时间增加，孔内材料去除量增多，导致入口孔径变大、锥度变小。对于斜孔加工，产物容易从入口下沿排出，从而造成入口下...
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