高灵敏度双轴加速度计结构设计与仿真

摘要： 该文设计了一种具有高灵敏度、低交叉耦合的双轴谐振式微加速度计，使用工型梁作为解耦梁，通过微杠杆机构实现力的放大，结构呈中心对称形式，采用差分检测工作方式。通过仿真分析对结构进行优化并完成加速度计整体结构设计，进而提高加速度计灵敏度，降低交叉耦合。对加速度计结构进行模态分析、灵敏度分析、交叉耦合分析和谐响应分析，结果表明，在±20g量程范围内，x向标度因数为423.6 Hz/g,...
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