柔性电子薄膜热弹耦合振动分析

西安理工大学学报页数： 6 2022-02-15

摘要：针对陕西北人FR400ELS精密涂布机上运动薄膜存在的稳定性问题，对温度作用下运动薄膜的横向振动特性进行研究。建立薄膜横向振动的动力学方程，将运动薄膜热传导方程与横向振动方程联立并进行无量纲处理，解耦后得到含有热弹耦合系数的运动薄膜振动方程，应用微分求积法对此振动方程进行离散。研究了前三阶模态下热弹耦合系数、张力比等参数对运动薄膜的振动特性的影响。（共6页）

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