HgCdTe外延材料批量化生产及其质量控制

激光与红外页数： 5 2020-09-20

摘要：经过多年研发,我司的碲镉汞(HgCdTe)红外焦平面探测器已达到批量生产的水平。
优异性能的红外探测器离不开高质量的HgCdTe外延材料,外延材料的厚度及组分均匀性、表面缺陷的控制以及HgCdTe外延/CdZnTe衬底晶格匹配度是批量化生产中需要控制的关键性因素,红外探测器的批量化生产也给HgCdTe外延材料质量稳定性以及一致性的控制提出了更高的要求。（共5页）

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