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一种用于细胞牵引力测量的Parylene-C微板的制备

太原理工大学学报页数： 6 2021-04-15

摘要：为研究细胞在三维生长状态下的牵张力,采用微机电系统(MEMS)加工技术,以玻璃为微加工基底,采用气相淀积的方法制备聚一氯对二甲苯(Parylene-C)薄膜,通过光刻与刻蚀工艺将Parylene-C薄膜图形化,进而制备了用于细胞牵引力测量的微板。（共6页）

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