氮化铝真空热分解反应机理研究

摘要： 为了研究氮化铝真空热分解反应机理,对该反应进行真空条件下热力学计算,结果表明反应在1960~2360 K,60Pa的条件下可以进行。利用基于密度泛函框架下的第一性原理平面波赝势法,对氮化铝真空热分解反应在1960~2360 K,60Pa的条件下分别进行了5 ps动力学模拟,并对模拟得到的Al N(1010)的结构、分波态密度和差分电荷密度进行计算和分析。模拟结果表明,部分Al-N键发生断裂,表面第一、二层间的Al-N键先发生断裂,然后是表层中的Al-N键断裂,有单质Al和Al-Al键的生成。 （共6页）