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滚转角测量方法综述

激光与光电子学进展页数： 7 2014-04-10

摘要：精密直线运动系统在高端加工制造等领域具有重要地位,六自由度误差的高精度测量方法与技术是提高其精度的必要手段,而滚转角误差是其中最难测量的一个参数。总结并介绍了目前国内外的多种滚转角测量方法,给出了每种测量方法的原理和发展现状,比较了各种方法的优缺点,讨论了其发展趋势。（共7页）

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