溶胶-凝胶法制备硅酸锆薄膜

摘要： 采用酸催化溶胶-凝胶法于n型单晶硅基片表面制备出硅酸锆薄膜。运用XRD、SEM等分析测试手段对比了酸催化、回流和陈化三种不同凝胶化工艺对薄膜的相组成和显微形貌的影响。通过粘度-时间曲线观察了溶胶的稳定性并通过FT-IR研究了溶胶水解缩聚的过程。实验结果表明:相比酸催化和回流工艺,采用HNO_3调节pH值至1时,可以有效缓解正硅酸乙酯的快速水解缩聚,制备出均匀稳定的硅酸锆溶胶,经提拉镀膜、900℃煅烧0.5 h得到致密光滑的硅酸锆薄膜,能够有效防止NaOH强碱溶液对单晶硅片基底的腐蚀。 （共7页）