氮氧化铪薄膜力学与光学特性研究

摘要： 氮氧化铪薄膜透射率高,带隙宽,机械性能好,是一种较好的窗口保护薄膜。采用离子束辅助反应蒸发的方法沉积具有高透射率的多光谱氮氧化铪薄膜,通过控制沉积速率改变膜层中N、O化学计量比,研究氮氧化铪中N、O化学计量比不同对薄膜力学和光学性能的影响规律。随着沉积速率从0.8减小到0.05 nm/s,氮含量增高,薄膜的硬度从7.29增大到10.67 GPa,氮氧化铪薄膜的折射率从1.95降低到1.80,而消光系数从1×10-3增大到8×10-3,禁带宽度从5.62减小到5.5eV。 （共4页）