立方相WO_3薄膜的制备及表征

摘要： 以偏钨酸铵(NH_4)_6W_4O_(24)·6H_2o为钨源,聚乙二醇(PEG)为配位聚合物,采用聚合物前驱体法制备了立方晶相WO_3(c-WO_3)薄膜,利用X射线衍射、扫描电镜、能谱分析及高分辨透射电镜等手段对结构进行了表征,并考察了煅烧温度、溶液pH值及镀膜衬底对WO_3薄膜晶体结构与形貌的影响.结果表明,以FTO导电玻璃为衬底,450℃热处理3 h的样品为c-WO_3,薄膜光滑平整,均匀良好,表面颗粒粒径为60 nm,厚度为2.9μm,晶体生长有序度较高;热处理温度在400～550℃和不同pH值条件下制得的薄膜均为立方晶体结构;样品的颗粒粒径随前驱体溶胶pH值升高而减小;以石英玻璃和石墨衬底镀膜得到的样品均为单斜晶体结构,表明衬底对WO_3薄膜晶体结构具有明显的影响. （共7页）