MicropackagedMEMSpressuresensorforintracranialpressuremeasurement

JournalofSemiconductors 页数： 4 2015-06-15

摘要： ThispaperpresentsamicropackagedMEMSpressuresensorforintracranialpressuremeasurementwhichbelongstoBioMEMS.Itcanbeusedinlumbarpuncturesurgerytomeasureintracranialpressure.Miniaturizationiskeyforlumbarpuncturesurgerybecausethesensormustbesmallenoughtoallowitbeplacedinthereagentchamberofthelumbarpunctureneedle.Thesizeofthesensorisdecidedbythesizeofthesensorchipandpackage.Oursensorchipisbasedonsiliconpiezoresistiveeffectandthesizeis400400m2.Itismuchsmallerthanthereportedpolymerintracranialpressuresensorssuchasliquidcrystalpolymersensors.Intermsofpackage,thetraditionaldualin-linepackageobviouslycouldnotmatchthesizeneed,theminimalsizeofrecentlyreportedMEMS-basedintracranialpressuresensorsafterpackagingis1010mm2.Inthiswork,wearethefirsttointroduceaquadflatno-leadpackageasthepackageformofpiezoresistiveintracranialpressuresensors,thewholesizeofthesensorisminimizedtoonly33mm2.Consideringtheliquidmeasurementenvironment,thesensorisgummedandwaterproofperformanceistested;thesensitivityofthesensoris0.9102mV/kPa. ... （共4页）

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