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气相沉积是将含有形成沉积元素的气相物质,通过各种手段和反应,在工件表面形成沉积层(薄膜)的工艺。它可赋予基体材料表面各种优良性能(如强化、保护、装饰和电、磁、光等特殊性能),也可用来制备具有更加优异性能的新型材料 ......(本文共 5235 字 , 5 张图) [阅读本文] >>