气相生长技术

被沉淀物质在一定条件下,原子和分子从气相碰撞到晶体表面吸附生长晶体的技术。在同质和异质材料衬底上外延生长人工晶体体材、膜材等,制造半导体、光电、声光器件。其生长速度慢(10-4cm/min),适于制备大尺寸薄膜,能在不规则衬 ......    （本文共 544 字 ）     [阅读本文] >>