1.人眼分辨率人眼分辨率通常指在正常照明条件下,肉眼可以分辨出两个最近物点的距离。一般认为在250mm的明视距离上,人眼分辨率为0.2mm,如图1-1所示。图1-1　人眼分辨率为了提高分辨率,通常借助光学放大系统,例如使用10倍放大镜...[继续阅读]

    1.电子波鉴于电子的波动性,德布罗意认为带电粒子与光波之间极为相似,具有波动性,电子波就是一种德布罗意波。式中:h为普朗克常数;m为电子质量;v为电子运动速度。当电子初速为0时,在电场中从0电位开始运动,受到电压U的加速作用...[继续阅读]

    当用放大镜读报纸时会发现,镜片中心附近的文字清洗可辨,而在镜片边缘的文字模糊不清,而且黑色的文字周围均有五彩的色边。这是失真的图像,是由于透镜成像的像差造成的。电磁透镜也有像差,它不能把一个理想的物点聚焦为一个...[继续阅读]

    光镜(OM)的出现,开辟了微观视野。1939年德国人B.Borris和E.Ruska推出第一台商业透射电镜(TEM),分辨率提高到亚微米范围。透射电镜与光镜有许多类同之处,例如:光源、分辨率、放大倍率、透镜、像差、衍射等光学术语均通用。两者之间的...[继续阅读]

    图2-1　电子散射示意图(a)弹性散射,碰撞后的瞬间能量Ei＝Eo;(b)非弹性散射,瞬间能量Ei≪Eo,φi≪φe。在扫描电镜镜筒中,电子束通过电磁透镜聚焦和电场加速,入射到样品中,束电子与样品原子核或核外电子发生多种相互作用,而被...[继续阅读]

    弹性散射过程和非弹性散射过程是同时发生的,前者使束电子偏离原来运动方向,并使电子在样品内部扩散,后者使电子能量逐渐减少直至被样品完全吸收,因此限制了电子束的扩散范围,电子束的能量完全沉积在扩散区内,同时产生大量...[继续阅读]

    1.背散射电子(Backscatteredelectron,简称BSE)以实验为例:用已知量的束流入射到正偏置的样品中,仅约70%的电子能量消耗在作用区内,其余30%的电子从样品中背散射出来,这是背散射电子。起因是由于部分入射电子受到样品原子核在任意方向...[继续阅读]

    1.扫描电子枪产生的高能电子束入射到样品的某个部位时,在相互作用区内发生弹性散射和非弹性散射事件,从而产生背散射电子、二次电子、吸收电子、特征和连续谱X射线、俄歇电子、阴极荧光等各种有用的信号,利用合适的探测器...[继续阅读]

    扫描电镜是由电子光学系统(镜筒)、扫描系统、信号检测和放大系统、图像显示和记录系统、电源和真空系统、计算机控制系统等部分组成,如图3-8所示。各部分的主要功能将分别予以介绍。图3-8　扫描电镜结构图C—电子枪;CL—聚光...[继续阅读]

    目前市场上提供的商品扫描电镜分为两类:场发射扫描电镜(FEGSEM)和常规扫描电镜(ConventionalSEM,简称CSEM),两类电镜的主要性能指标对照如表3-5所示。表3-5　场发射与常规扫描电镜主要性能指标对照表1.场发射扫描电镜场发射扫描电镜属...[继续阅读]