激光刻蚀铜的低温二次电子发射特性研究.pdf

所属栏目:核科学技术

【日期】:2022-07-05
【关键词】:低温;二次电子;激光刻蚀;电子云;无氧铜
【摘要】:为降低加速器运行的热负载和提高束流质量,抑制电子云效应成为未来粒子加速器设计和建造过程中的基本要求。
二次电子产额(SEY)是电子云现象产生的主要因素之一,它代表材料表面产生二次电子的能力。
激光刻蚀技术是一种通过修改材料表面微观形貌从而抑制二次电子发射的方法,它具有操作简单,重复性高等优点。
为评估激光刻蚀技术的工程应用潜力,本文搭建一台低温二次电子产额测试系统。


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