知识贝壳
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所属栏目：航空航天科学与工程
【日期】：2022-05-11
【关键词】：刻蚀速率;推力器;等离子体;入射能量;入射角余弦值
【摘要】：基于等离子体放电理论，利用三维粒子仿真方法，针对阳极层霍尔推力器的极靴刻蚀进行数值仿真研究。
获得入射到上、下极靴的入射离子能量和角度的分布，以及上、下极靴不同表面的轰击离子数量。
由结果可知阳极层霍尔推力器的上极靴上表面、上极靴内表面以及下极靴内表面这三个面上轰击离子数量较多，为其他三个面上轰击离子数量的30倍。
接着详细分析放电电压、磁场强度、气压对三个面的刻蚀速率分布的影响。