透明导电薄膜的研究进展.pdf

所属栏目:工业通用技术及设备

【日期】:2012-10-10
【关键词】:薄膜;;透明导电薄膜;;金属膜;;透明导电氧化物薄膜;;多层膜
【摘要】:主要对目前国际上研究较多的几种透明导电薄膜,如金属膜、透明导电氧化物(TCO)薄膜(In2O3基、SnO2基、ZnO基及TiO2基薄膜)、p型材料及多层膜的性能、制备工艺、研究现状及最新进展进行了较为详细的阐述。介绍了一些较为特殊的透明导电薄膜材料。展望了透明导电薄膜未来的研究方向及发展前景。


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